常规供气系统

1、特种气体采用50L的钢瓶供气，并放置于特定的气瓶柜中。

2、配置全自动的PLC控制器，彩色触摸屏。

3、面板采用压力传感器和气动阀门，自动切换，自动氮气吹扫，自动真空辅助放空。

4、VMB采用支路气动阀，氮气吹扫，真空辅助去排空。

5、惰性气体多采用半自动气瓶架，继电器控制，自动切换，手动吹扫，手动放空。

6、VMB主管气动阀，氮气吹扫;支路气动阀，氮气吹扫，真空辅助排空。

管道系统的设计

1、材料的选择：特气管路系统普遍采用316L不锈钢电解抛光(EP)管道，阀门一般采用高纯调压阀、隔膜阀、高精密过滤器、(<0.003微米)、VCR接头等。接触气体的管路部件表面粗糙度可控制在5uin。对于某些高腐蚀性的气体如CL2等，采用经过特殊处理的耐腐蚀强的EP管。

2、主管路系统设计：确认好气体房和用气点后，主管路系统的管道线路设置应线路短、拐弯少，布置美观节省空间;为了精确控制流量，在气源端可配置压力变送器、温控器、电子秤。

施工管理和现场施工的几个注意点

1、气管道采用小管道输送，为了降低成本，管道采用直接用弯管器煨弯的方式，弯管器一般采用5-10倍的，但不小于5倍，所以要求施工人员需专业培训弯管方面的知识。

2、每日检查材料质量，需做好检查记录，记录表包括管工弯管的尺寸、质量、是否有变形和划伤现象。

3、焊工在施工前应注意先焊接试样，确保焊接作业是否存在焊接隐患。

4、电源变更的时候，需重新作试样。试样每次要记录参数，方便下次对比查看。

5、在焊接作业开始后不间断充气的方式，从施工开始到施工结束管道内都要处于冲气保护的状态，不进行焊接作业时应当调小管内气压。